| a出气口 |
→ |
氮气纯度：90%-99.9%可调
流量：1-1000Nm3/h
压力：0.8MPa以下可调
露点：<=-40℃ |
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| b出气口 |
→ |
氮气纯度：90%-99%可调
流量：5-150Nm3/h
压力：1.0MPa以下可调
露点：<=-40℃（加干燥器） |
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| c1出气口 |
→ |
氮气纯度：>=99.9995%
露点：<=-70℃
氧含量：<=5PPM
氢含量：500ppm-5%可调 |
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| c2出气口 |
→ |
氮气纯度：>=99.9995%
露点：<=-70℃
氧含量：<=5PPM
二氧化氮含量：<=5ppm
压力：0.05-0.8mPa可调 |
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| c3出气口 |
→ |
氮气纯度：>=99.9995%
露点：<=-70℃
氧含量：<=5PPM
氢含量：<=1ppm |
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| d出气口 |
→ |
混合气体：含氢75%左右
含氮25%左右
杂质氧：<=10ppm
残余氨：<=0.1%
露点：<=-10℃
工作压力:0.05-0.2Mpa |
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| e出气口 |
→ |
残余氨：<=10ppm
露点：<=-60℃
工作压力：0.05-0.8Mpa |
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| f出气口 |
→ |
供氧量：1-800Nm3/h
压力：0.05-0.5Mpa可调
氧含量：>=93%可调
氮含量：<=2.5%
氩含量：约4.5%
二氧化氮：<=10ppm |
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